Датчики внутренней информации могут быть использованы для контроля технического состояния, блокировки и адаптации технологических систем. Контроль функционирования систем обеспечиваются путем применения датчиков электрических параметров, временных интервалов, параметров движения.
Электрические сигналы используются для контроля источников энергии, параметров технологического процесса.
Тензометры и силомоментные датчики измеряют напряжения в конструкциях.
Для контроля конструктивных параметров обработанных деталей, инструмента, зажимных приспособлений применяются аналоговые, фазовые, кодовые, импульсные датчики системы ЧПУ, контактные датчики, электрические и пневматические микрометры.
Термопары, термометры, терморезисторы, оптоволоконные датчики применяют для контроля температуры, оптоэлектронные, пьезоэлектрические, вихретоковые датчики используют для определения вибраций.
Для контроля количества материалов и параметров технологического процесса в гидравлических системах привода и в смазочных системах применяют датчики уровня и расхода.
Для контроля технического состояния, блокировки и адаптации технологических систем используются лазерные и фотоэлектрические, рентгеновские и ультразвуковые внешние сенсорные системы технического зрения.