Исторически все шипящие и Ц были мягкими, т.к. они возникли в результат палатализации.
Ж ' – по 1 палатализации из *g
- по j палатализации из *gj
- по j палат. Из *zj
- по j палат. Из *dj
Ш ' – по 1 палат. Из *ch (x)
- по j палат. Из *chj
- по j палат. Из *sj
Ч ' – по 1 палат. Из *k
- по j палат. Из *kj
- по j палат. Из *tj
Ц ' – по 2 палат. Из *k
- по 3 палат. Из *k
В ДРЯ Ж, Ш в 14 веке становятся твердыми. Это доказано следующим образом: после Ж,Ш был возможен переход Е в О( после мягких, перед твердыми) – мешок.
А в 14 веке перед Ж, Ш, когда они уже отвердели, так же произошел переход Е в О – в глагольных формах ( ведёшь, несёшь и т.д.)
Мягкий Ц ' отвердевает в 16 веке. Но в совр.Русских диалектах сохраняется мягкий Ц ' (мягкое цоканье).
Ч ' в Сря сохраняет мягкость, но в ряде диалектов является твердым.
Так же в говорах может встречаться долгий твердый Ш – шука (щука)