Электрогидравлические сервомеханизмы используются в промышленных роботах большой (50…100 кг) и сверхбольшой (более 100 кг) грузоподъѐмности. Особенностью таких роботов является наличие не только значительной полезной нагрузки, но и преобладание в ней инерционных нагрузок от подвижных звеньев робота. Именно для таких роботов больше проявляются преимущества гидроприводов в энергетических характеристиках, за счѐт которых обеспечивается значительное снижение массы робота. Достаточно отметить, что отношение грузоподъѐмности к собственной массе у современных промышленных роботов сверхбольшой грузоподъѐмности равно 0,3…0,5. С уменьшением грузоподъѐмности это отношение уменьшается до 0,03.
К преимуществам гидроприводов, за счѐт которых достигается такое соотношение, следует отнести: большой коэффициент усиления по мощности (более 1000); отсутствие дополнительных кинематических цепей; высокую стабильность скорости звена; высокое быстродействие и точность позиционирования.
Как правило, промышленные роботы с гидроприводом имеют универсальное применение. В таких роботах манипулятор имеет шесть степеней свободы, точность его позиционирования – до ±0,5 мм, объѐм рабочего пространства – более 30 м2. В настоящее время около 30 % мирового парка промышленных роботов имеют электрогидравлический привод.
В качестве двигателей в электрогидравлических сервомеханизмах используются линейные и поворотные гидроцилиндры.
Принцип действия устройства «сопло – заслонка». Осуществляя небольшие перемещения заслонки относительно сопла , можно с большой точностью управлять давлением масла перед соплом. С увеличением зазора с 0,1 до 0,3 мм давление перед соплом уменьшается в четыре раза.