Метод термовакуумного напыления используется для выявления латентных следов. Он основан на свойстве следообразующего вещества локально изменять поверхностную энергию и энергию связи со следовоспринимающей поверхностью конденсирующихся паров металлов, испаряющихся в условиях глубокого вакуума. Образующаяся при этом пленка имеет повышенную чувствительность к жировой компоненте потожирового вещества. При этом окрашиваются межпапиллярные линии следа, делая его видимым за счет интенсивности окраски. Для метода используются порошки цинка, сурьмы, меди и др. Метод обладает высокой чувствительностью к микроколичествам потожирового вещества и разрешающей способностью их фиксации, позволяет дифференцировать следы по давности образования и не исключает возможности их последующего медико-биологического исследования по системе АВО.
Наносимая в процессе выявления тонкая проявляющая пленка удаляется воздействием паров хлористого водорода, что позволяет последующее применение других методов выявления следов. Несмотря на большие возможности этого метода, широкого распространения на практике он не получил и используется лишь в нескольких лабораториях органов МВД РФ. Это обусловлено рядом причин: отсутствия специальной камеры или дороговизны ее изготовления. Серийно камеры не производятся.
