Отличие ХТО от термической обработки состоит в том, что при ХТО изменяется не только структура, но и химический состав поверхностного слоя.
Различают следующие виды ХТО: Цементация; Азотирование; Цианирование; Диффузионная металлизация.
Стадии химико-термической обработки: Образование активной газовой среды элементов в атомарном виде, которые будут диффундировать вглубь поверхности металла. Адсорбция на поверхности раздела металл/газ, т.е. насыщение поверхности металла тонким слоем диффундирующего элемента. Диффузия насыщенного элемента вглубь металла.